As的氢化物

As(砷)的氢化物是砷化氢，化学式为AsH3一种无机化合物，是最简单的砷化合物。为无色气体，有剧毒，本身无臭，但空气中砷化氢浓度超过0.5×10-6时，可被空气氧化产生轻微类似大蒜的气味。溶于水，微溶于乙醇、碱液，溶于苯、氯仿。用于半导体工业中，如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓（GaAs）、磷砷化镓（GaAsP）以及与某些元素形成化合物半导体。也用于有机合成、科研或某些特殊实验中。