苏州光刻机生产厂家

主要有：

1：苏州亿拓光电科技公司：主要产品为无掩膜光刻机，激光直写式光刻机以及相关精密检测设备。

2：苏大维格科技集团股份有限公司。

3：苏州晶方光电科技有限公司。

4：苏州光舵微纳科技股份有限公司。

5：苏州源卓光电科技有限公司。